无线压力传感器的研制及应用

摘要

压力传感器广泛应用于工业过程监控等各领域，压力传感器种类繁多，扩散硅式压力传感器具有灵敏度高的优点。随着微电子机械系统技术的发展，人们对压力传感器工艺研究不断深入，压力传感器设计转向基于微机械加工工艺的微结构设计。硅压力传感器与集成电路发展同步，压力传感器结构趋向于微型智能化。目前主要的传感器类型包括电容式压力传感器，热压力传感器等。研究介绍压力传感器技术原理与发展，进行压力传感器非线性与数据补偿分析，设计研制无线压力传感器，实现压力传感器的成功应用。系统具有成本低、实用性强等优点。