某集成电路芯片厂工艺循环冷却水系统设计

摘要

工艺循环冷却水系统是集成电路芯片生产的重要支持系统，其特点是循环水量大，运行能耗高。如何在满足工艺设备对水温、水压、水质等需求的前提下合理设计，是系统后期运行的关键。本项目结合国内外同类工程的设计经验，采用开式循环冷却水系统，在满足项目分期实施的前提下，做到技术经济合理，安全可靠。